压电材料做水声换能器时,没人写在手册里的工艺限制

上周在苏州的代工厂蹲了三天,就为了把一款1-3型压电复合材料的水声换能器接收灵敏度提上去。

差2dB。

就这2dB,卡了项目组整整两周。客户那边的指标是在10kHz频率下,接收灵敏度不低于-195dB re 1V/μPa,我们测出来的样品,全在-197dB上下飘。

极化炉里的“隐性温差”

最开始排查的方向完全错了。实验室小批量做10mm见方的PZT片,按老工艺参数——极化温度120℃,电场3kV/mm,保压20分钟,出来的压电常数d33能稳定在420pC/N,做出来的换能器灵敏度刚好达标。到了产线,一炉装500片,平铺在耐高温氧化铝托盘上,同样的参数打进去,测出来的d33最高的430,最低的才280,离散度快到30%。

一开始以为是配方混料不均,拿XRD扫了一圈不同位置的样品,晶粒取向的半高宽差不到0.2度,根本找不到成分或者结构上的明显差异。

问题出在哪?

把三个K型热电偶分别插在炉门侧、炉腔中心、炉腔后侧的托盘层之间,跑了一炉满装的程序才发现,炉门侧那层的实际温度比设定值低了14℃。压电材料的极化临界电场,是随温度呈指数下降的,不是线性。106℃的环境下,3kV/mm的电场根本达不到让电畴完全翻转的阈值,等于那部分位置的片子,只是加了个高压,根本没完成有效极化。

压电材料极化炉多点温度实测热电偶布置图
压电材料极化炉多点温度实测热电偶布置图

当时蹲在炉边等数据的时候,手心全是汗。毕竟之前光排查混料的问题就花了两天,差点把整批进场的PZT粉料当成不合格品退回去。后来改了托盘的摆放密度,每两层之间留5cm的风道空隙,又把炉门老化变硬的密封胶条全换了,复测的时候同炉的d33离散度直接降到10%以内。灵敏度也跟着涨了1.2dB。

切割后的应力释放根本没个准数

刚把极化的问题解决,新的麻烦又来了。1-3型压电复合材料的制备,需要把整块PZT切割成平行的柱列,再往缝隙里灌低粘度环氧树脂,固化后磨到目标厚度。实验室用精密切割机,切0.2mm宽的缝,走刀速度0.5mm/s,切完放24小时再灌胶,测出来的介电损耗一直稳定在0.004左右,过高低温循环测试毫无压力。

产线为了提效率,把走刀速度提到2mm/s,切完连2小时都没等,直接往缝里灌胶。做出来的换能器,一到-40℃的低温测试环节,接收灵敏度直接掉3dB。拆了失效样品在显微镜下看,PZT柱的边缘全是发丝一样的微裂纹。

切割产生的位错应力,在压电材料里的释放速率,和环境湿度、材料本身的极化程度直接相关。当时车间的湿度是60%,比实验室高了20%,切完表面的应力释放得快,但是PZT内部的位错应力根本没跑出来,灌完环氧树脂等于把应力全封在了材料内部。一到低温,树脂和PZT的热胀冷缩系数差了快一个数量级,直接把脆得像玻璃的PZT柱拉裂。

1-3型压电复合材料切割后PZT柱边缘微裂纹显微图
1-3型压电复合材料切割后PZT柱边缘微裂纹显微图

之前看文献里说“切割后静置即可”,根本没说要静置多久,什么环境,全是模糊的正确。后来把走刀速度降回1mm/s,切完之后把整个工件放在40℃的干燥箱里烘4小时,让应力充分释放,再灌胶,高低温循环10个周期,灵敏度的波动才压到0.5dB以内。

封接胶层的厚度偏差,比你想的影响大得多

解决了应力的问题,还差最后0.8dB的灵敏度。换能器最后一道工序是在压电振子的表面涂一层聚氨酯密封胶,防水用的。实验室手工用刮胶刀,把胶层厚度控制在0.1mm左右,测出来的收发响应曲线和仿真值基本对得上。产线为了保证防水等级,用自动喷涂设备把胶层厚度喷到了0.3mm。

好家伙,整个换能器的谐振频率直接飘了8kHz。一开始以为是压电片的厚度磨偏了,拿千分尺测了三个点,厚度差才0.02mm,根本不是这个原因。压电材料的机电耦合系数,对表面附加层的刚度极其敏感。聚氨酯的刚度比PZT低两个数量级,胶层越厚,相当于在振子表面加了一层软阻尼,这层软阻尼会把谐振频率拉低,顺带把工作带宽拉宽,接收灵敏度直接往下掉。

后来反复试,把胶层厚度控制在0.12mm到0.15mm之间,既满足IP68的防水要求,又不会让频率飘出设计的工作带宽。

现在还是有个没完全摸透的问题:为什么不同批次的聚氨酯胶,哪怕是同个牌号,哪怕测出来的邵氏硬度一样,涂同样的厚度,频率偏移能差2kHz。问了供应商,人家说原料里的固化剂比例差了0.5%,他们自己都没法完全控死。

其实做压电材料工艺久了就会发现,所有写在教材里的参数,都是理想条件下的最优值。真到了产线上,差个几度温度,差个几秒走刀速度,差个0.1mm的胶层厚度,最后出来的东西可能根本达不到设计要求。

上周收拾实验台的时候,翻出来最早做的那批没极化透的片子,测了下d33,放了三年,竟然自己涨了120pC/N。

哦,原来畴壁这东西,真的会自己慢慢转。

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